法國Piezoconcept HS1.10納米定位器7000Hz高諧振應(yīng)用于半導體檢測

楊鵬輝            QQ：1569261908              手機：18501097796            電話：010-64714988-179            傳真：010-84786709-667            郵件：sales23@handelsen.cn

法國Piezoconcept HS1.10納米定位器7000Hz高諧振應(yīng)用于半導體檢測

在高端科研與精密工業(yè)領(lǐng)域，XY軸平面納米定位對負載能力、動態(tài)響應(yīng)與定位精度的協(xié)同要求日益嚴苛。法國PIEZOCONCEPT推出的HS1.10納米定位器，以10μm行程、0.01nm分辨率及7000Hz高諧振頻率為核心亮點，搭配1kg大負載能力，成為緊湊型平面定位系統(tǒng)的優(yōu)選方案，可靈活組合為多軸系統(tǒng)，廣泛適配科研實驗與工業(yè)檢測場景。

一、技術(shù)架構(gòu)：剛性與精度的協(xié)同設(shè)計

HS1.10的卓越性能源于壓電直驅(qū)與柔性鉸鏈的一體化架構(gòu)，融合高剛性材料工藝與閉環(huán)傳感技術(shù)，在保障大負載能力的同時，實現(xiàn)納米級定位穩(wěn)定性，徹底解決傳統(tǒng)定位設(shè)備負載與精度難以兼顧的痛點。

1.1 壓電直驅(qū)與柔性鉸鏈一體化結(jié)構(gòu)

HS1.10采用航空級鋁合金一體成型工藝，通過精密電火花加工（EDM）打造柔性鉸鏈導向機構(gòu)，替代傳統(tǒng)機械軸承與傳動部件，從根源上消除摩擦損耗與回程間隙，確保運動軌跡的精準可控。內(nèi)部搭載預(yù)載壓電陶瓷驅(qū)動器，基于逆壓電效應(yīng)將電信號直接轉(zhuǎn)化為機械位移，無中間傳動鏈路，響應(yīng)速度較傳統(tǒng)電磁驅(qū)動平臺大幅提升，X軸諧振頻率可達7000Hz，能快速完成高頻次定位與掃描任務(wù)。

1.2 高精度閉環(huán)傳感控制系統(tǒng)

作為精度保障核心，HS1.10集成高分辨率位移傳感器，構(gòu)建全行程閉環(huán)控制回路，實時捕捉位移信號并動態(tài)補償壓電材料固有遲滯與溫度漂移，將分辨率控制在0.01nm，重復(fù)定位精度優(yōu)于0.1μm，滿足高端科研對定位一致性的嚴苛要求。

二、典型應(yīng)用場景：賦能多領(lǐng)域精密作業(yè)

憑借0.01nm高精度、1kg大負載、7000Hz高速響應(yīng)及靈活擴展特性，HS1.10已在高?？蒲?、半導體檢測、光子學校準等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)?；瘧?yīng)用，成為多軸定位系統(tǒng)的核心組成部件。

3.1 高?？蒲腥S定位系統(tǒng)

在材料表征、生物醫(yī)學等科研實驗中，HS1.10常與Z-STAGE系列定位器組合，構(gòu)建XYZ三維納米位移平臺。在材料微觀力學性能測試、單細胞操控等實驗中，該系統(tǒng)憑借高精度與高穩(wěn)定性，為科研數(shù)據(jù)采集提供了可靠支撐。

3.2 精密測量與光學校準

在表面形貌測量、光學組件對準等場景中，HS1.10的大負載與高精度優(yōu)勢顯著?？沙休d小型干涉儀、顯微鏡物鏡等設(shè)備，實現(xiàn)樣品或光學組件的平面精準定位，其7000Hz高諧振頻率能快速完成多點掃描測量，提升檢測效率；0.01nm分辨率可捕捉微觀形貌的細微變化，確保測量數(shù)據(jù)的準確性。

3.3 多軸系統(tǒng)集成應(yīng)用

HS1.10具備良好的模塊化擴展能力，可通過轉(zhuǎn)接板與同品牌其他定位器組合，靈活構(gòu)建2軸、3軸定位系統(tǒng)，適配不同維度的定位需求。在光子學領(lǐng)域，搭配Z軸定位器可實現(xiàn)光纖耦合對準、微透鏡陣列定位等三維調(diào)節(jié)任務(wù)，提升耦合效率與系統(tǒng)穩(wěn)定性；在微納加工領(lǐng)域，多軸組合系統(tǒng)可實現(xiàn)樣品的高精度平面移動與垂直升降，配合高速響應(yīng)特性，優(yōu)化加工效率與成品精度。